大規(guī)格高純硅單晶是先進半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件材料，是納米級半導(dǎo)體制程良率的重要保障。經(jīng)過4年的研發(fā)，國家重點研發(fā)計劃“大尺寸高純稀有金屬制品制備技術(shù)”結(jié)出豐碩成果，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司成功攻克大規(guī)格高純硅單晶技術(shù)，并在山東省德州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)實現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化，填補了省內(nèi)空白。該成果立足于自主創(chuàng)新，形成了獨特的加熱裝置、單晶信號檢測方案、收尾控制方法、位錯缺陷判斷裝置、溫度閉環(huán)控制等手段，有效解決了大規(guī)格單晶生長過程熱應(yīng)力、固液界面穩(wěn)定性、氧含量、純度、典型缺陷及電阻率控制等問題，達到全球領(lǐng)先水平，形成20余系列產(chǎn)品，全覆蓋客戶端需求，長成單晶直徑達到18英寸（即450mm），為全球最大硅單晶尺寸，純度可到11N。產(chǎn)品為美國、日本、韓國所有硅部件廠商采用，安裝于泛林、東京電子等頂尖半導(dǎo)體設(shè)備廠商的刻蝕機產(chǎn)品中，并在臺積電等產(chǎn)線中使用。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展以及半導(dǎo)體制程日趨微細化，大規(guī)格高純硅單晶及精密硅部件的需求將快速增長，該成果市場前景廣闊，2020年全年形成銷售額2.32億元，2021年預(yù)計銷售額約4億元。

[責任編輯：楊凡、秦霞]

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