原標(biāo)題：沈陽半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)成立技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟——優(yōu)勢互補(bǔ) 組團(tuán)成長（新征程 新期待）

來源：人民日報

雙臂，四指，真空機(jī)械手有節(jié)奏地伸縮旋轉(zhuǎn)。

“伸縮動作3.2秒，旋轉(zhuǎn)90度1.5秒，旋轉(zhuǎn)180度2.2秒……”沈陽新松機(jī)器人股份有限公司半導(dǎo)體事業(yè)部工程師，正在實(shí)驗室跟蹤數(shù)據(jù)、調(diào)試產(chǎn)品。

“這是新松第一次對外提供雙臂真空機(jī)械手。”公司事業(yè)部副總裁楊奇峰介紹，這個產(chǎn)品專為沈陽拓荊科技有限公司的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備開發(fā)。

拓荊科技和新松機(jī)器人都是沈陽半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的骨干成員，處于沈陽半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上下游。

“拓荊負(fù)責(zé)雙臂真空機(jī)械手的需求導(dǎo)入與應(yīng)用驗證，新松負(fù)責(zé)產(chǎn)品研制，面向市場、客戶導(dǎo)向，研制過程中邊開發(fā)邊測試?！睏钇娣逭f，“根據(jù)客戶需求，經(jīng)過3個多月攻關(guān)，目前新產(chǎn)品已進(jìn)入測試階段。研發(fā)成果也豐富了新松的產(chǎn)品系列，將提升終端廠的產(chǎn)能，實(shí)現(xiàn)共贏。”

半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)被譽(yù)為制造業(yè)皇冠上的明珠，產(chǎn)業(yè)鏈細(xì)分環(huán)節(jié)多、專業(yè)性強(qiáng)，這也意味著技術(shù)研發(fā)的高投入。2008年，沈陽半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟在沈陽高新區(qū)管委會的支持推動下正式成立，之后高新區(qū)組織聯(lián)盟骨干成員聯(lián)合申報承擔(dān)國家重大專項，在組織項目、研發(fā)過程中，經(jīng)授權(quán)可以合理使用聯(lián)盟其他成員的專利技術(shù)。

真空機(jī)械手是影響整機(jī)研發(fā)進(jìn)度和產(chǎn)品競爭力的關(guān)鍵部件，楊奇峰和他的團(tuán)隊一點(diǎn)都不敢疏忽。

“在客戶使用環(huán)境中產(chǎn)品依然保持穩(wěn)定、可靠才行，這還需要大量驗證?！睏钇娣逭f，“對于新產(chǎn)品，越少人用，產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性就越難做上去。正是國家項目支持、聯(lián)盟企業(yè)彼此寬容，幫我們度過了最初的業(yè)績積累期。新松的單臂真空機(jī)械手目前已批量應(yīng)用于國內(nèi)主流半導(dǎo)體工藝設(shè)備?！?/p>

經(jīng)過多年發(fā)展，沈陽半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟由弱到強(qiáng)，19家企業(yè)、科研院所和高校覆蓋了半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈的不同環(huán)節(jié)，多個企業(yè)年產(chǎn)值突破2億元。

展望“十四五”，楊奇峰和他的團(tuán)隊信心更足?！白鳛槠髽I(yè)，要擔(dān)起創(chuàng)新主體的責(zé)任，加大技術(shù)攻關(guān)力量，為優(yōu)化升級產(chǎn)業(yè)鏈做貢獻(xiàn)?！?/p>

[責(zé)任編輯：楊凡、崔中連]

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