齊魯網·閃電新聞9月2日訊 山東首根半導體級八英寸直拉硅單晶日前在德州拉制成功,將推動山東半導體產業實現新突破。
歷時70多個小時,半導體級八英寸直拉硅單晶成功下線,這標志著有研集成電路用大尺寸硅材料項目即將進入量產階段。
山東有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目總工程師肖清華說:“我們這次是一次性成功,整個過程印證了我們廠房建設達到了一個非常好的水準。”
硅是重要的半導體材料。拉制成功的單晶硅棒再經過切片、倒角、拋光等工序,被制成硅拋光片,可用于衛星、電腦、手機等領域,是集成電路產業鏈中重要的基礎材料。
山東有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目副總經理劉斌說:“在此之前咱們國家所有的8英寸硅拋光片,基本上是從美國、日本、韓國、德國這些國家進口,從順利實施,將進一步擴大咱們國家的自主的8英寸硅拋光片的供應。”
硅單晶的拉制是一個極其復雜的過程,缺陷尺度要控制在納米級,除了工藝技術要精密,項目還對能源供應的穩定性要求嚴苛。為此,當地專門為企業建設了35千伏專用變電站,實行雙回路供電。
德州經濟技術開發區科技局局長趙興介紹說:“組織供水供電等部門成立專門的工作協調小組,建立了每天的早餐例會制度,每天利用早餐時間溝通情況,了解問題,做到問題早發現、早溝通、早協調、早解決,確保調試生產的順利進行。”
據了解,山東有研集成電路用大尺寸硅材料項目一期總投資18億元,主要生產6-8英寸硅片,年產量450萬片。二期年產360萬片12英寸硅片項目計劃明年開工建設,建成后將成為我國北方最大的半導體材料基地。